深圳市广思科技有限公司

深圳市广思科技有限公司 tTiger光腔痕量分析仪 黄生 18676706083

Tigeroptics痕量水份分析仪HALO3-H2O利用Tiger Optics公司连续波长光腔衰荡光

HALO OK痕量氧气分析仪气体与化学品烟气排放能源半导体与LED 大气实验室与生命科学HALO OK 专为痕量氧气分析而设计：

 业界领先的ppt级别的检测能力

 空前的响应速度

 宽动态范围

 绝对测量（无需校准气体）

 很低的维护和极低的使用成本

 体积小，非常适合固定或移动推车安装

 在多组分气体中直接测量

超高纯气体用户的首选

在您的工艺过程出现问题之前，先检测出气体质量

异常。使用Tiger Optics 的HALO OK 氧气分析仪，

您可以以ppt 级别的精度、无漂移的稳定性和瞬时响应

来验证氧气浓度水平。您会发现我们的系统非常容易安

装，快速便捷并且易于维护，内置零点验证功能。其坚

固的设计-没有活动部件-使分析仪的平均故障间隔时间

提高，使用和维护成本极低。

HALO OK 氧气分析仪凭借其专利的催化转化技术，

通过微量的氢气将氧气清洁安全的转化为水分，利用基

于激光的测量方法，可对您的工艺进行连续质量控制。

基于强大的光腔衰荡光谱技术，HALO OK 符合用于气

体系统水分干燥表征的SEMI F-112 标准。将HALO

OK 氧气分析仪与ppt 级HALO KA 水分分析仪联合使

用，同时对两种关键污染物进行分析，您将充分体会到

我们光腔衰荡光谱技术（CRDS）的诸多优势。

HALO OK

痕量氧气分析仪

性能外型尺寸高x 宽 x 深[（mm）]

工作范围见下表标准分析仪8.73x19.0x23.6 (222x483x599)

检出限（LDL，3σ/ 24h） 见下表

精确度（1σ，取大者） ±0.75％或LDL 的1/3 重量

准确度（取大者） ±4％或LDL 标准分析仪45 lbs（20.4 kg）

响应速度<3 分钟至95％

环境条件10℃至40℃ 电路

相对湿度30％至80％（无凝液） 报警指示灯2 个用户可编程

贮存温度-10℃至50℃ 1 个系统故障

C 型继电器

气体处理系统和条件电源要求100−240 VAC，50/60 Hz

材料316L 不锈钢功率最大450 W

10 Ra 表面光洁度信号输出4-20 mA 隔离

泄漏测试1 x 10-9mbar l /s 用户界面5.7 英寸液晶触摸屏

气体连接1/4”VCR 公头10/100 base-T 以太网

气体入口压力10-125 psig（1.7-9.6 bara） 802.11g 无线（选配）

气体流速0.5 至1.8 slpm（取决于气体） RS-232

样气多数惰性气体Modbus TCP（选配）

气体温度最高60℃ 认证CE MARK

氢气供应要求*,† 〜15 sccm，20−12 psig

氧气分析性能测量范围检测极限‡(3σ) 零点精确度(1σ)

在氦气中0-0.5 ppm 50 ppt 17 ppt

在氩气中0-1 ppm 90 ppt 30 ppt

在氢气中0-2 ppm 150 ppt 50 ppt

在氮气中0-2.5 ppm 200 ppt 70 ppt

在二氧化碳中§ 0-5 ppm 5000 ppt 300 ppt

如需测量其他分子或其他样气的信息或了解可选的吹扫机箱的信息，请联系我们。

* 氢气供应（最大10 ppm 水和氧气杂质）需要通过催化转化进行样气处理。

†为提高安全性，可以使用3％氢气/97％氮气的混合物替代纯氢气。此选项需要特殊的配置，必须在订购时澄清。

‡LDL 取决于样气的质量和采样系统的配置。

§需要特殊配置，必须在订购时澄清。